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在前级真空泵所造成的低真空条件下，加热泵内硅油或扩散泵油，使受热沸腾蒸发，生成蒸汽，以极高速度通过该泵的各级喷口的缝隙喷出，使容器内部的气体分子扩散到蒸汽中被带到前级真空泵所能作用的位置，由前级真空泵迅速抽出，使系统达到高真空的要求。
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