F160/620复合分子泵系列

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北京中科科仪 KYKY 分子泵

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产品描述
主要性能指标
外形尺寸

特点：

FFl60／620普通型复合分子泵采用进口精密金属球轴承支撑，冷却方式为通水冷却，转子经过精密动平衡，运转可靠、振动小；电机为鼠笼式三相电机；轴承润滑采用滴油润滑，这种润滑方式决定了分子泵只能竖直安装。

FFl60／620F风冷型复合分子泵区别于普通型的特点是冷却方式为通水冷却和风扇强制风冷两种，工作环境温度低于32℃时，可采用风扇冷却。这对于一些不利于通水的环境，比如有放射性源和有污染的环境，有其突出的优点。

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│ 注意

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│当工作环境温度高于32℃时，则必须采用水冷。│

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FFl60／620T陶瓷轴承复合分子泵，区别于普通型的特点是轴承采用进口精密陶瓷球轴承支撑，陶瓷轴承的球体是采用一种特殊的复合材料，它较普通的金属球体质量小，所以旋转中离心力小、摩擦生热少、磨损小，一般说来，陶瓷轴承的使用寿命是普通轴承的两倍以上

FFl60／620N耐腐蚀复合分子泵，区别于普通型的特点是抽气叶片经过特殊的防腐涂层处理，轴承采用耐腐蚀的陶瓷球轴承支撑，润滑油采用高化学稳定性的专用防腐油，轴系设计有保护气路，工作时通入保护性气体N20该泵可用于CL2、氟化物等腐蚀性气氛工作环境如离子刻蚀、等离子体和半导体器件生产中