D07-7B质量流量控制器

分类:

质量流量控制器

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产品描述
主要性能指标
外形尺寸

商品简介

D07-7B型质量流量计高性能性价比普通型产品橡胶密封模拟电路的MFC 管状分流，使用寿命长用途：质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、是有化工、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

详细参数

标准:
气体质量流量用氮气(N₂)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa

输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V

产品技术指标

满量程流量范围（N₂）	5SCCM～10SLM
控制范围	2～100％F.S.
阀类型（及阀初始状态）	电磁调节阀（常闭）
准确度	±1.5％F.S.
线性	±0.5～1.5％F.S.
重复精度	±0.2％F.S.
响应时间	≤7sec
工作温度范围	5～45℃
工作压差	0.1～0.5MPa
耐压	3MPa
漏气率	1×10^-8atm.cc/sec He
通道湿材料	316L不锈钢、密封材料
静密封材料	氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶）
电连接器	D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNetTMmale
动密封材料	氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯）
接头选择	VCR 1/4”
接头选择	Swagelok 1/4”或φ6、φ3
重量	1.1Kg