D07-9E质量流量控制器

分类:

质量流量控制器

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产品描述
主要性能指标
外形尺寸

商品简介

D07-9E型质量流量控制器 ★大流量型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★分流器不易堵塞 ★采用DB15型电插头，国际标准机械接头用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
详细参数

标准:
气体质量流量用氮气(N₂)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa

输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA；-15V,400mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V

产品技术指标

满量程流量范围（N₂)		20～250SLM
控制范围		2～100％F.S.
阀类型（阀初始状态）		电磁调节阀（常闭）
准确度		±2％F.S.
线性		±0.5～2％F.S.
重复精度		±0.2％F.S.
响应时间		≤4sec
工作温度范围		5～45℃
工作压差	≤30SLM	0.05～0.3MPa
	50～150SLM	0.1～0.3MPa
	200～250SLM	0.15～0.3MPa
耐压		3MPa
漏气率		1×10^-8atm.cc/sec He
通道湿材料		316L不锈钢、密封材料
静密封材料		氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶）
动密封材料		氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯）
接头选择	VCR	1/2”
	Swagelok	φ8、φ6、φ10、1/2”、1/4”、3/8”
重量		2.6kg