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D07-60F型体质量流量控制器

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  • 产品描述
  • 主要性能指标
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  • 商品简介
    D07-60F型 质量流量控制器 ★24VDC单电源供电,4~20mA输入输出信号 ★高精度、重复性好、快响应型 、超大流量型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★国际标准机械接头用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

    详细参数
    标准:
    气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
    标准温度………………0℃(273.15K)
    标准压强………………101325Pa

    输入和输出:
    输入电源………………24V,400mA
    输入设定电压…………(4~20)mA or (1~5)V
    输出电压检测…………(4~20)mA or (1~5)V

    产品技术指标

    满量程流量范围(N2) 300SLM~2000SLM
    控制范围 2~100%F.S.
    阀类型(阀初始状态) 先导阀
    准确度 ±2%F.S.
    线性 ±(0.5~2)%F.S.
    重复精度 ±0.2%F.S.
    响应时间 ≤20sec
    工作温度范围 5~45℃
    工作压差范围 (0.2~0.5Mpa (≤1000SLM)
    (0.3~0.5Mpa (>1000SLM)
       
     
    耐压 3MPa
    漏气率 1×10-8SCCSHe
    密封材料 氟橡胶;氯丁橡胶
    接头选择 法兰 根据用户要求设计
    Swagelok 1/2””或φ10mm
    电插头形式 DB15 pin(Male)
    重量 6kg

     

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