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中科科仪氦质谱检漏仪

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  • 产品描述
  • 主要性能指标
  • 外形尺寸
  • ZQJ-230D是在ZQJ-230型的基础上用电磁阀替代手动组合阀而发展的一个型号,电磁组合阀及其控制系统可以预置预抽到检漏的转换压力值,在真空度到达设定值时,自动转换到检漏状态,故只需交替操作“检漏-放气”和“放气”两个键,便可实现检漏过程的自动化,完全避免了手动操作中可能出现的误操作。此外,还有延长预抽时间的控制和检漏过程中防止试件真空变差的自动保护等功能。
     

    主要技术指标:
     

    最小可检漏率(对He) ≤5×10-11Pa·m3/s
    漏率显示范围 2×10-11~9.8×10-5 Pa·m3/s
    响应时间 ≤3s
    启动时间 ≤8min
    允许检漏口的最高压力 20Pa
    电源要求 220V±10%,50Hz,单相,10A
    工作环境 温度5~35 ℃,相对湿度≤80%
    外形尺寸 540(W)×500(D)×950(H)mm

     

     

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