- 产品描述
- 主要性能指标
- 外形尺寸
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最大入口压力:15 mbar最小可检测氦漏率(在真空模式下):在真空模式下≤5×10-12 mbar l/s;在吸气模式下<1×10-7 mbar l/s能显示的最大氦漏率:0.1 mbar l/s测量范围:12 数量级漏率信号时间常数(封闭,终值的63%):<1s入口抽速(氦):GROSS模式0.4 l/s;FINE 模式>2.5 l/s可检测质量:2,3 和4质谱室:180°扇形磁场离子源:2灯丝,铱/氧化钇吸入口: DN 25 KF起动时间(启动后):≤2 min为了降到最小可检测漏率范围,必须满足一些条件。PhoeniX 已完全预热。环境状况必须稳定(温度,无振动/加速度)试件抽空足够长(本底不再下降)ZERO 必须激活。
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